PUTTER4
대기 이송 로봇
HAR-P4-DN4300A
대기압 상태에서 빠르고 정확하게 웨이퍼를 정렬·이송하는 로봇입니다. 높은 반복 정밀도로 라인 생산성을 끌어올립니다.
고진공 환경에서 웨이퍼를 안정적으로 이송하는 고정밀 로봇입니다. 미세 오염과 진동을 최소화하여 공정 수율을 높입니다.
차세대 인간형 로봇에 탑재되는 고출력·고정밀 일체형 구동 모듈. 소형화·경량화와 강력한 토크 제어 기술을 적용한 차세대 개발 제품입니다.
관절마다 정밀한 힘과 속도를 전달하는 고출력 일체형 모듈.
작은 크기에서도 안정적이고 힘 있는 구동을 실현하는 정밀 토크 제어.